掃描式電子顯微鏡,又掃描電鏡(Scanning Electron Microscope, SEM)主要是利用微小聚焦的電子束(Electron Beam)進行樣品表面掃描。 此電子束(Electron Beam)與樣品間的交互作用會激發出各種訊號,如: 二次電子、背向散射電子及特性X光等,SEM主要就是收集二次電子的訊號來成像。
iST 宜特服務優勢
宜特擁有多台目前業界主流的場發射掃描式電子顯微鏡(掃描電鏡,FE-SEM):Thermo Fisher Verios 460L、Hitachi Regulus 8240、Hitachi SU8220、Hitachi SU8020、Hitachi S-4700、Jeol 6700F,且加裝EDS (SDD detector),可提供高解析之表面結構分析影像,亦可快速進行材料成份之分析。
案例分享
此為使用掃描電子顯微鏡(SEM)大範圍拍攝之影像,左圖是由100張拼圖而成的SEM影像,右圖為取之左圖其中一小塊的影像,可以清楚呈現奈米等級的線路。
藉由層層delayer,並使用SEM拍照拼圖,客戶可透過宜特軟體,檢視各層Metal之對應關係
- 針對各種材料表面微結構觀察
- SEM量測樣品尺寸,如膜厚等
- EDS可針對樣品表面,進行微區定性與半定量成份元素分析/ 特定區域之Point、Line Scan、Mapping分析
- EDS SDD detector可在低電壓下,提升Mapping的空間解析度
- SEM自動拍照,搭配層次去除技術de-process,可提供電路逆向工程參考
- 利用低能電子束掃描做被動式電壓對比(Passive Voltage Contrast, PVC),對於異常漏電或接觸不良的半導體元件損壞可精準定位

Thermo Fisher Verios 460L
- 電子槍:Schottky FE
- 解析度:0.6nm (加速電壓15kV) ,0.7nm(加速電壓1kV)
- 倍率:45~800k
- 加速電壓:0.5~30kV

HITACHI SU8020
- 電子槍:Cold FE
- 解析度:1.0nm (加速電壓15kV) ,1.3nm(加速電壓1kV)
- 倍率:30~800k
- 加速電壓:0.1~30kV

HITACHI SU8220
- 電子槍:Cold FE
- 解析度:0.8nm (加速電壓15kV) ,1.1nm(加速電壓1kV)
- 倍率:20~1000k
- 加速電壓:0.01~30kV

HITACHI Regulus 8240
- 電子槍:Cold FE
- 解析度:0.7nm(加速電壓15kV),0.9nm(加速電壓1kV)
- 倍率:20~1000k
- 加速電壓:0.01~30kV
- 自動拍照功能(Auto Capture)