iST 宜特服務優勢
- 顯微結構分析(晶格影像)
- 結晶缺陷、晶格缺陷(dislocation)分析
- 元素成分分析
- 薄膜應力分析
- 電子繞射圖分析
- 雜質及汙染源分析
- 影像自動量測分析
- 半導體產業
- LED產業
- 光電產業
- 微機電(MEMS)產業

FEI Talos-F200
影像 | TEM resolution: 0.1nm STEM resolution: 0.16nm |
EDS | Detector: SDD 30 mm2 x 4 Solid angle: 0.95 |
其他功能 | Piezo stage + DCFI 4K x 4K CCD |

JEOL JEM-2800F
影像 | TEM resolution: 0.1nm STEM resolution: 0.2nm |
EDS | Detector: SDD 100 mm2 x 2 Solid angle: 1.7 |
其他功能 | Strain mapping 4K x 4K CCD |

JEOL JEM-2100F
影像 | TEM resolution: 0.1nm STEM resolution: 0.2nm |

JEOL JEM-F200
影像 | TEM resolution: 0.1nm STEM resolution: 0.16nm |
EDS | Detector: SDD 100 mm2 x 2 Solid angle: 1.7 |
其他功能 | Strain map 4K x 4K CCD |