白光干涉儀(White Light Interferometry, WLI)，屬於非接觸式的3D光學式量測儀器，為光學式輪廓儀(Optical Profiler, OP)的其中一種，可進行樣品粗糙度分析。主要原理係藉由白光的低同調特性，將物體反射的光線與和參考面反射光線透過分光鏡，產生干涉波，由相位差求得表面形貌高度。
借力三大工具，精準量測樣品表面粗糙度iST 宜特能為你做什麼
- 表面粗糙度參數、表面粗糙度分析
- 3D表面形貌量測(彩色3D立體圖)
- 透光薄膜膜厚量測
iST 宜特服務優勢
案例分享
2D表面粗糙度分析圖，可得出 Ra、Rp、Rq、Rt、Rv數值。
壓克力塊材的表面形貌
金屬凸塊的形貌
金屬圓棒於表面研磨後的3D真實影像
可得知薄膜厚度分布狀況以及平均厚度
10元硬幣的表面形貌
10元硬幣的3D影像
Bruker Contour GT-K Elite
- 樣品大小(mm)： W200 x L200 x H50
( 8”Wafer Compatible) - 樣品台最大載重：4.5kg (10 lbs.)
- 縱向量測範圍：Max. 9mm
- 奈米級縱向解析度：~0.1nm
- 最大量測範圍：2.3*1.7mm2(單張圖)
- Thick/thin film可量測厚度：
＜=2μm(特定材料)
＞2μm (需已知材料折射率) - 能支援自動接圖模式，完成大面積圖形
- 半導體產業的晶圓量測
- 微機電產業（MEMS）、IC封裝、精密加工的機械元件量測
- 顯示器、太陽能與LED產業的尺寸量測