歐傑電子能譜儀 (Auger, AES)是一種利用電子束作為激發源的高靈敏度表面分析(Surface Analysis)技術,樣品偵測深度小於10nm。
案例分享
Au Pad 上特定小區域分析
縱深分析 (Depth Profile),鑑別各元素Atomic %分布
- 樣品表面元素分析(Surface Analysis)
- 元素縱深分析 -以Ar+(3kV 1uA)蝕刻樣品表面
- 元素分佈分析
適用於電機、機械、電子、材料、化學、化工等研究領域
歐傑電子能譜儀 (Auger, AES)是一種利用電子束作為激發源的高靈敏度表面分析(Surface Analysis)技術,樣品偵測深度小於10nm。
歐傑電子顯微鏡(Auger, AES)具有奈米級單點分析以及極表面(<10nm)的分析能力,搭配機台內離子槍蝕刻(Ar)可得到各層元素在不同深度間的分布比例。
Au Pad 上特定小區域分析
縱深分析 (Depth Profile),鑑別各元素Atomic %分布
適用於電機、機械、電子、材料、化學、化工等研究領域