歐傑電子能譜儀 (Auger, AES)是一種利用電子束作為激發源的高靈敏度表面分析(Surface Analysis)技術,樣品偵測深度小於10nm。 如何利用表面分析工具,抓出半導體製程缺陷 如何選擇適當表面分析儀器,抓出製程汙染缺陷 iST 宜特能為你做什麼 歐傑電子顯微鏡(Auger, AES)具有奈米級單點分析以及極表面(<10nm)的分析能力,搭配機台內離子槍蝕刻(Ar)可得到各層元素在不同深度間的分布比例。 案例分享表面分析縱深分析 Au Pad 上特定小區域分析 縱深分析 (Depth Profile),鑑別各元素Atomic %分布 應用範圍應用產業 樣品表面元素分析(Surface Analysis) 元素縱深分析 -以Ar+(3kV 1uA)蝕刻樣品表面 元素分佈分析 適用於電機、機械、電子、材料、化學、化工等研究領域 聯絡窗口 | 吳小姐/Ping | 電話:+886-3-5799909#6183 | email: [email protected] 您可能有興趣的其他服務 原子力顯微鏡(AFM) 掃描式電子顯微鏡 (SEM) X光光電子能譜儀 (XPS/ESCA) 穿透式電子顯微鏡 (TEM)