穿透式電子顯微鏡(Transmission Electron microscopy, TEM)主要是一種使用高能量電子束讓超薄的樣品成像，其影像解析度可達0.1奈米的原子等級，用以觀察材料微結構或晶格缺陷的分析儀器。
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- 微機電(MEMS)產業
FEI Talos-F200
| 影像 | TEM resolution: 0.1nm STEM resolution: 0.16nm |
| EDS | Detector: SDD 30 mm2 x 4 Solid angle: 0.95 |
| 其他功能 | Piezo stage + DCFI 4K x 4K CCD |
