穿透式電子顯微鏡(Transmission Electron microscopy, TEM)主要是一種使用高能量電子束讓超薄的樣品成像，其影像解析度可達0.1奈米的原子等級，用以觀察材料微結構或晶格缺陷的分析儀器。
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可針對材料之顯微結構、晶格缺陷(Dislocation)、化學成分進行分析；搭配上EDS、HAADF(ZC)、應力分析等功能，更能得到原子尺度結構與成份資訊，解決製程上各種難題。
iST 宜特服務優勢
案例分享
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28奈米HKMG電晶體EDS line-scan
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Horizontal direction
Vertical direction
- 顯微結構分析(晶格影像)
- 結晶缺陷、晶格缺陷(dislocation)分析
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- 微機電(MEMS)產業
FEI Talos-F200
| 影像 | TEM resolution: 0.1nm STEM resolution: 0.16nm |
| EDS | Detector: SDD 30 mm2 x 4 Solid angle: 0.95 |
| 其他功能 | Piezo stage + DCFI 4K x 4K CCD |
JEOL JEM-2800F
| 影像 | TEM resolution: 0.1nm STEM resolution: 0.2nm |
| EDS | Detector: SDD 100 mm2 x 2 Solid angle: 1.7 |
| 其他功能 | Strain mapping 4K x 4K CCD |
JEOL JEM-2100F
| 影像 | TEM resolution: 0.1nm STEM resolution: 0.2nm |
JEOL JEM-F200
| 影像 | TEM resolution: 0.1nm STEM resolution: 0.16nm |
| EDS | Detector: SDD 100 mm2 x 2 Solid angle: 1.7 |
| 其他功能 | Strain map 4K x 4K CCD |