跳脫黑與白，戴上彩色眼鏡輕鬆判別P/N type

一般而言，常用來判斷P/N well的方式，是將晶片染色 (stain)後，再利用SEM(掃描式電子顯微鏡)拍攝其寬度、深度及量測磊晶層厚度，但是SEM的電子影像為黑白圖像，無法有確切的數據或顏色可以分辨P/N well，往往需要自行判斷與猜測。而可提供顏色判斷P/N well的SCM，正好可以補足這塊。

SCM(掃描式電容顯微鏡)為掛載在AFM(原子力顯微鏡)上的偵測模組，其分析原理為將樣品蓋膠研磨後，給定AC(交流電)搭配導電探針量測，可以直接得到dC/dV的訊號，進而得知P/N分布，透過改變color bar來判別P/N well。

因此，判別P/N的絕佳方式，建議利用SEM清晰影像，可獲得其精確寬度與深度；再搭配SCM的電性色塊分析，輕鬆辨別晶片pattern位置。

以下分享SEM搭配SCM的實例。從SEM圖(左圖)可以量測寬度及深度，不過由於電子影像呈現方式為黑白圖像，只要搭配SCM圖(右圖)來判別P/N well，就可由電性上得知正電(紫色)為P well，負電(紅色)為N well。