二次離子質譜分析儀 (Secondary Ion Mass Spectrometer, SIMS)主要是利用離子高靈敏度的特性,針對樣品的表面微汙染、摻雜與離子植入的P/N濃度定量分析,以及P/N介面擴散的研究。廣泛應用於半導體、LED,以及薄膜材料的微量檢測分析上。
iST 宜特服務優勢
案例分享
- 偵測極限可達ppma(1E-6)甚至ppba(1E-9)
- 可偵測週期表上所有元素(H~U)
- 可區分同位素
- 縱深解析度最佳可達2nm
- 可分析導電不良樣品
- 經由標準品比對可作定量分析

CAMECA 6F-E7
離子源 | 銫(Cs) 源: 2~10kV 氧(O2) 源: 1.1~15kV |
偵測極限 | ppma ~ ppba |
偵測元素 | H~U |
質量解析 | >20,000 |
分析面積 | >10um |
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