超音波顯微鏡(SAT),原理是藉由超音波於不同密度材料反射速率及回傳能量不同的特性來進行分析,當超音波遇到不同材料的接合介面時,訊號會部分反射及部分穿透,但當超音波遇到空氣(空隙)介面時,訊號則會100%反射,機台就會接收這些訊號組成影像。
超音波顯微鏡(SAT),原理是藉由超音波於不同密度材料反射速率及回傳能量不同的特性來進行分析,當超音波遇到不同材料的接合介面時,訊號會部分反射及部分穿透,但當超音波遇到空氣(空隙)介面時,訊號則會100%反射,機台就會接收這些訊號組成影像。
SAT超音波可用來檢測晶片元件內部不同位置的脫層(Delamination)、裂縫(Crack)、氣洞及粘著狀況,多用於檢察IC封膠內的缺陷。
檢測探頭都有其固定頻率及聚焦,其適用於不同封裝IC,宜特擁有目前全台實驗室最完整的探頭組合,從低頻15 MHz至高頻100 MHz及更高階的230MHz超高頻探頭,可滿足各種封裝型式的IC檢測。