透過SEM顯微鏡的極小曲率半徑探針，搭接IC內部線路或接觸層(Contact Layer)，使其外接電性量測設備，藉此輸入訊號並量測電特性曲線；另外，亦可利用SEM電子束特性，進行相關應用分析，包括EBIC電子束感應電流(Electron Beam Induced Current)、EBAC電子束吸收電流(Electron Beam Absorbed Current )、EBIRCH電子束感應阻抗偵測 (Electron Beam Induced Resistance Change)。
iST 宜特能為你做什麼
1. 在SEM真空環境下進行電特性量測，可避免外界環境的雜訊干擾。對於半導體元件的故障分析，以及元件在奈米尺度下的研發，提供直接且快速的資訊。
2. 在IC內部線路層或接觸層(Contact layer)電性量測發現異常後，可在同一台設備切換量測模式，直接確認異常位置。
iST 宜特服務優勢
案例分享
IC樣品去層至接觸層(Contact Layer)後，在SEM真空環境下進行電性量測。
使用EBIC於接觸層(Contact Layer)定位異常點，提高異常點定位精準度。
使用EBAC找出電路之開路(Open)異常位置。
- 元件電特性分析
- 元件品質及故障分析