電子能量損失能譜儀 (EELS)是除了能量散射X射線譜 (EDS)之外，另一種加裝在TEM的成份分析附屬設備。在高能電子束與樣品交互作用後，EELS的能量解析度可達1 eV以下，所得之能譜提供低原子序元素定量準確度，並可額外提供原子鍵結、電子性質等資訊。
iST 宜特能為你做什麼
EELS (Electron Energy Loss spectroscope) 在TEM中具備高空間解析度、高能量解析度、對輕元素靈敏，並能透過能譜獲取元素、價態與鍵結分布。與EDS互補，提供更精確的元素與化學資訊，幫助客戶在半導體、奈米材料及能源領域先進材料分析的關鍵工具。
iST 宜特服務優勢
案例分享
矽（Si）常以多種化學鍵結狀態存在，可在 EELS 能譜中特性邊刃與精細結構差異進行判別。
DualEELS 技術可同時擷取低能損與核心損失訊號，提升價態分析、背景扣除與多元素分析效率。
EDS僅有各元素的組成，EELS則能透過分析 Cu L₃ 和 L₂ 邊刃的強度比來揭示銅的氧化態與結構。
EFTEM透過能量濾波器，挑選特定能量損失的電子來成像觀察材料中不同層次的成分變化。
- 半導體產業
- LED產業
- 光電產業
- 微機電(MEMS)產業
- 能源材料產業
- 半導體：IC製程、先進封裝。
- 能源材料產業：鋰電池。
- 金屬∕合金：銅、鐵、鋁、鎳金屬、高熵合金…等。
- 陶瓷：ITO、氧化鋁、氧化鋯、SiC、WC…等。
- 薄膜：具結晶之鍍層
Gatan GIF Model 1065 Continuum ER
| Spectral rate, max. (sps) | 8000 |
| Sensor size (pixel x pixel) | 2048 x 2048 |
| Energy resolution | <1.0eV |
| Energy range (eV) | 3000 |