半導體化學分析:先進製程微污染檢測與精密定量分析
微量化學污染可能影響半導體先進製程的產品良率與可靠度。iST 宜特提供專業化學分析服務,整合故障分析(FA)與材料分析(MA),從化學物質檢測到數據解讀,協助企業掌握製程品質、排查污染來源及改善產品可靠度。
iST宜特化學分析的三大服務優勢
iST宜特結合化學分析、故障分析與材料分析專業,除了提供檢測數據,也協助企業解讀分析結果,了解製程異常與污染物的可能關聯:
- 跨領域整合分析:結合化學分析、故障分析與材料分析
iST 宜特整合化學分析、故障分析(FA)與材料分析(MA),從化學成分異常與材料結構等面向進行分析,協助企業排查污染來源與產品失效原因,縮短研發週期。 - 極致精準:達ppb等級的定量分析實力
針對半導體製程對潔淨度的嚴苛要求,iST宜特具備執行ppb(十億分之一)等級的化學物質解析能力。無論是液態化學品、空氣中分子污染物(AMC)、揮發氣體(Outgassing)及離子成分分析,我們都能提供精密定量數據,協助客戶應對最細微的製程變異。 - 從數據到對策:專業數據解讀與污染物分析
iST宜特不僅提供化學分析數據,也結合專業經驗進行結果解讀,協助企業了解未知污染物對製程及產品品質的可能影響,並提供相關環保法規檢測服務。
iST宜特化學分析服務範疇
iST宜特針對不同樣態的化學物質與檢測需求,提供精密定量分析、未知物解析、多態樣分析及環保法規相關檢測服務:
| 服務維度 | 分析對象與技術重點 | 應用場景 |
|---|---|---|
| 精密定量分析 | ppb等級物質解析、離子成分分析 (Ion Analysis) | 先進製程微汙染控制、良率提升 |
| 未知物解析 | 未知汙染物(Defect)成分鑑定、有機物與異物辨識 | 失效分析、供應鏈進料品質異常排查 |
| 多態樣分析 | 液態(化學品)、揮發氣體(Outgassing)、磁性固體與粉體 | 良率優化、材料研發驗證 |
| 環規與合規性 | 國際環保法規(RoHS/REACH/PFAS/無鹵)驗證、材料禁用物質檢測 | 綠色供應鏈合規、產品上市前驗證 |
iST宜特結合精密定量分析、未知物解析與跨領域分析技術,協助企業掌握化學污染物與製程品質之間的關聯,為半導體製程改善、材料研發及產品可靠度驗證提供專業分析支援。
