透過OM or SEM,配合探針(Prober)搭接於IC線路上,再外接各類電性量測設備,以輸入訊號或量測電性曲線。
iST 宜特服務優勢
案例分享
- 元件電特性分析
- 微機電及IC微結構研究
- 可應用在高頻電路及FIB Probing PAD及Active Probe (500 MHz)。
- 實驗分析樣品使用EMMI / OBIRCH / TLP / ESD / Curve Tracer等機台無適當治具時,可用點針方式提供訊號之輸入輸出。
- Wafer可點針進行各項測試。
- 實驗室另架設有 Laser System,可做Laser Cut。