首頁 量測晶圓粗糙度一定要破片?靠AFM ICON給你滿滿大平台

量測晶圓粗糙度一定要破片?靠AFM ICON給你滿滿大平台

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量測晶圓粗糙度一定要破片?靠AFM ICON給你滿滿大平台

by admin

發佈日期:2017/4/25
發佈單位:iST宜特

要量測晶圓表面粗糙度一定要破片?
難道不能6吋、8吋甚至到12吋Wafer整片下去量?

為什麼要檢測晶圓表面粗糙度? 在晶圓尚未上電路(Pattern)之前,須了解晶圓是否平整,得以確認後續Layout狀況。當晶圓上了電路之後,更需監控粗糙度數據,才能確保後續上板後的品質。

而檢測晶圓表面粗糙度,最常使用的是AFM(原子力顯微鏡)。傳統的AFM樣品規格需小於2cm*2cm,因此在檢測時,都需破片才能分析,卻也造成這片晶圓後續無法進行其他實驗分析。

因此,宜特引進了可直接放置樣品最大達12吋晶圓的AFM(型號Bruker Dimension ICON,以下簡稱AFM ICON),並可利用真空吸引固定樣品,提升掃描時的穩定度。

AFM的掃描探針可區分為接觸式(contact)、非接觸式(non-contact)及輕敲式(tapping)三大類,一般而言,多數使用輕敲式執行量測粗糙度。不過因應不同領域的客戶需求,宜特的新型AFM ICON,更另外提供「非接觸式」的量測模式,利用原子間的凡德瓦力(van der Waals’ force)偵測表面高低起伏,取得正負10奈米以下的表面粗糙度數值。

BRUKER-ICON
BRUKER-ICON

圖說:新型AFM ICON,將可放上12吋晶圓不破片執行量測。

備註:
樣品尺寸: 200 mm x 200 mm x 15 mm (300 mm x 300 mm Compatible)
掃描規格: 90um x 90 um x 5um

本文與各位長久以來支持宜特的您分享,若您有上述樣品結構需要觀察與檢測,或是對相關知識想要更進一步了解細節,不要猶豫,歡迎洽+886-3-579-9909 分機6172柯小姐,web_ma@istgroup.com

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