先進プロセスに 最適な解析ソリューション!! マイクロサイズの材料表面、界面の成分、特性、構造は、マクロ世界の物質特性の根源となっています。材料解析は、新しい技術の開発段階または故障解析分野において重要な地位を占めています。 応用分野 IC産業、LED産業、パネル産業、TFT-LCD産業、太陽エネルギー電池産業、ナノ材料研究など 3nmまで解析可能総合コンサルティングサービス先進設備でサービス提供十全性 サービス内容 サンプル前処理 デュアルビームFIB（Dual-beam FIB） 構成観察 走査型電子顕微鏡 （SEM） 通過型電子顕微鏡 （TEM） デュアルビームFIB（Dual-beam FIB） デュアルプラズマイオンビーム （Plasma FIB） 表面分析 オージェ電子分光装置 （AES） X線光電子分光装置 （XPS/ESCA） 二次イオン質量分析法(SIMS) X線回折(XRD) 原子間力顕微鏡（AFM） 白色光干渉計（WLI） フーリエ変換赤外分光計(FTIR) New Service熱分析 動的機械分析装置 (DMA) 示差走査熱量計 (DSC) 熱重量分析 (TGA) 熱機械分析装置 (TMA) 成分分析 走査型電子顕微鏡 （SEM） 通過型電子顕微鏡 （TEM） オージェ電子分光装置 （AES） X線光電子分光装置 （XPS/ESCA）
