iSTは、エッチング速度が20倍に向上した新しいタイプのFEIヘリオスプラズマFIB(PFIB)を業界で構築しました。
高解像度のSEMを搭載しているため、数百ミクロンの範囲にて、ナノスケールの特徴や異常を広範囲に正確に特定できます。小範囲で局所的なCross section分析を行う場合には、Dual-Beam FIBを使用して切断しながら撮影することで迅速に構造画像を得ることができます。しかし広範囲の構造の観察(断面>100umまたは 深度>50um以上)ではPFIBを推薦します。エッチング速度が速いだけでなく、従来の研磨方式使用の際の研磨応力により生じる構造破損と定位正確性の問題を避けることができるからです。