iSTの強み
事例紹介
- 結晶構造分析(格子)
- 結晶形態分析
- テクスチャ(texture)分析
- 薄膜残留応力分析
- 逆格子空間マップ(RSM)分析
- XRR分析

Bruker New D8 Discover
X線源 | 6kW ターボX線 スポットサイズ: 0.3*3mm |
検出器 | LynxEye PathFinder |
その他機能 | 2バウンスモノクロメーターGe (002) レーザーアライメント |
- 半導体産業
- LED産業
- オプティカル産業
- ナノ材料R&D
iSTが導入しているXRD(X線回折)は、同時にXRR(X線反射率法による薄膜評価X-ray Reflectivity)機能も搭載しています。XRDは回折原理を利用している一方、XRRはXRDの反射スペクトルにより薄膜の厚み(0.1nm厚の精確度)、サンプル表面、層と層の界面粗さ、薄膜の電子密度も確認することができ、更には多層膜分析(総厚さ500nm以下に限定)も行うことができる、薄膜材料の非破壊分析の特性を備えた最良のツールです。
市場をリードするXRDの最小スポット分析力: 0.3mm
ハイパワー、高強度X線源: 6kW
定点パターン分析:レーザースポットによる位置決め
サンプル分析サイズ:12インチウェハ対応可能、移動範囲8インチ
X線源 | 6kW ターボX線 スポットサイズ: 0.3*3mm |
検出器 | LynxEye PathFinder |
その他機能 | 2バウンスモノクロメーターGe (002) レーザーアライメント |