白色光干渉計（white light interferometry, WLI）は、非接触型の3D光学測定器で、光学プロファイラー（Optical Profiler, OP）の一種です。主な原理は、白色光の低同調性を利用するもので、物体の反射光線と参考面の反射光線に分光鏡で干涉波を生じさせ、位相差から表面形状高度を求めます。
iSTのサービス
- 表面粗さパラメーター
- 3D表面形状測定（カラー3D立体図）
- 透明薄膜の膜厚測定
iSTの強み
事例紹介
2D表面粗さ分析図で Ra、Rp、Rq、Rt、Rv値を得ることができます。
アクリル素材の表面形状
金属バンプの形状
金属バー表面研磨後の3D実影像
薄膜の厚さ分布と平均厚さがわかります
10元硬貨の表面形状
10元硬貨の3D影像
Bruker Contour GT-K Elite
- サンプルのサイズ： W200mm x L200mm x H50 mm
（ 8”Wafer Compatible） - サンプル台最大荷重：4.5kg （10 lbs.）
- 縦方向測定範囲：Max. 9mm
- ナノレベル縦方向解像度：~0.1nm
- 最大測定範囲：2.3*1.7mm2（単一図）
- Thick/thin filmの測定可能な厚さ：
<=2μm（特定材料）。 >2μm （材料反射率が既知である場合） - 図表自動連結モードにより大面積の図形が提供できます。
- 半導体産業におけるウェハ―測定
- MEMS産業、ICパッケージ、精密加工の機械部品測定
- ディスプレイ、太陽エネルギー、LED産業におけるサイズ測定