AESは電子ビームを励起源とした高感度の表面分析技術で、サンプル精査深度は10nm未満です。
iSTのサービス
オージェ電子顕微鏡はナノレベル単点分析および極表面（<10nm）の分析能力を備え、ユニット內のイオン銃エッチング（Ar）により異なる深度における各層元素の分布比率を得ることができます。
事例紹介
Au pad 上の特定小エリアの分析
深度プロフィル （depth profile）は各元素Atomic %分布を識別します。
- サンプル表面の元素分析
- 元素深度分析 (Ar+ (3kV 1uA) でサンプル表面をエッチング)
- 元素分布分析
適用於電機、機械、電子、材料、化学、化学工業などの研究分野