AESは電子ビームを励起源とした高感度の表面分析技術で、サンプル精査深度は10nm未満です。
事例紹介
Au pad 上の特定小エリアの分析
深度プロフィル (depth profile)は各元素Atomic %分布を識別します。
- サンプル表面の元素分析
- 元素深度分析 (Ar+ (3kV 1uA) でサンプル表面をエッチング)
- 元素分布分析
適用於電機、機械、電子、材料、化学、化学工業などの研究分野
連絡先 | Ms. Hazel Wu | 電話:+886-3-5799909#8923 | email: jp_sales@istgroup.com