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借力三大工具,精準量測樣品表面粗糙度
2021-03-08

在製程設備中裝載晶圓的載具,經過機台不斷重複運作,或與蝕刻液、鍍膜、機械等應力交互作用影響,可能導致粗糙度變異。這樣量測範圍與精度就並非在同一種儀器上可執行量測的,該如何精準進行樣品 表面粗糙度分析 ?

大範圍、高解析如何兼具? 奈米級表面形貌分析新境界
2020-09-15

有高解析度與大範圍掃描的需求,有機會兼得嗎? 宜特與設備商合作,提供高達50,000微米(um)大範圍,同時兼具高解析掃描的量測解決方案,一次擷取整個掃描行程中的形貌起伏,不再需要擔心分段掃描帶來的誤差與不確定性,大幅提升量測輸出效率…

使用TEM分析憶阻器(memristor)結構
2019-04-08

宜特TEM材料分析實驗室協助美國賓州大學教授為了分析憶阻器memristor的顯微結構,此研究最終也獲刊於Nature Electronics…

液態材料的缺陷,如何用SEM檢測?
2019-03-04

往往我們可以檢測的大多是固態樣品,但若遇到欲檢測的物品是液態,或者懷疑Defect來自於製程中的液態物質該如何分析呢?針對一般的樣品,以往我們會使用SEM檢測,然而….

小於30μm未知汙染物,如何分析?
2019-02-20

隨著製程越來越進步,對於污染缺陷點的分析要求也越來越嚴苛。這些表面汙染缺陷,該如何選擇到位的分析方式呢?一般而言,若待分析汙染物屬於有機物範疇,我們會選擇….

如何選擇適當表面分析儀器,抓出製程汙染缺陷
2018-08-29

IC有問題,想抓出缺陷,卻總是選錯分析方式與儀器?近乎隱形的製程問題,奈米等級的表面汙染缺陷,該如何選擇到位的分析方式呢?宜特在驗證分析領域耕耘20多年…