待測樣品為多層結構，但SEM影像卻分辨不出各層材質?已知IC有異常狀況，層層Delayer後，藉由SEM分析，卻什麼異常都看不到? 如何解決此議題? 就靠SEM BSE偵測…
往往我們可以檢測的大多是固態樣品，但若遇到欲檢測的物品是液態，或者懷疑Defect來自於製程中的液態物質該如何分析呢?針對一般的樣品，以往我們會使用SEM檢測，然而….
那要如何清楚透視微奈米級的線路避免專利糾紛？可利用大範圍掃描拍照拼圖達四萬倍、局部拍照可達百萬倍的掃描電子顯微鏡(SEM)來進行拍照…