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揭密TGV製程中的隱形殺手:EBSD如何破解應力難題
2025-08-21

本文深入探討EBSD在TGV製程中的應用,解析晶粒取向、晶界特性與殘留應力,揭示如何優化微結構、減少裂紋風險,全面提升高階封裝可靠度…

良率低落元兇?四大表面形貌量測手法 如何選?
2025-07-21

隨著AI晶片、高效能運算(HPC)與CoWoS等先進封裝技術快速發展,製程穩定與可靠度要求日益提升,如何選對表面形貌分析手法,避免誤判與良率損失…

如何利用表面分析工具,抓出半導體製程缺陷
2021-09-13

晶片製程有問題,想抓出缺陷,卻總選錯分析方式?半導體生產過程中,難免遇到汙染產生,常見微粒異物可透過光學或電子顯微鏡檢測出,然而奈米等級的表面氧化或微蝕的殘留汙染,可能導致後續的鍍膜脫層,甚至影響電性阻值偏高等,需透過表面分析尋找解答,該如何選擇到位的分析方式?

借力三大工具,精準量測樣品表面粗糙度
2021-03-08

在製程設備中裝載晶圓的載具,經過機台不斷重複運作,或與蝕刻液、鍍膜、機械等應力交互作用影響,可能導致粗糙度變異。這樣量測範圍與精度就並非在同一種儀器上可執行量測的,該如何精準進行樣品 表面粗糙度分析 ?

小於30μm未知汙染物,如何分析?
2019-02-20

隨著製程越來越進步,對於污染缺陷點的分析要求也越來越嚴苛。這些表面汙染缺陷,該如何選擇到位的分析方式呢?一般而言,若待分析汙染物屬於有機物範疇,我們會選擇….

如何選擇適當表面分析儀器,抓出製程汙染缺陷
2018-08-29

IC有問題,想抓出缺陷,卻總是選錯分析方式與儀器?近乎隱形的製程問題,奈米等級的表面汙染缺陷,該如何選擇到位的分析方式呢?宜特在驗證分析領域耕耘20多年…

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