EELS應用 你真的都了解了嗎? 材料分析專家鮑忠興博士深談穿透式電鏡利器—EELS應用的四大核心：精準鑑定微奈米級元素化學鍵結狀態、繪製同素異態分佈映像圖、在當下觀測條件下直接量測TEM試片厚度…
在TEM成份分析中，你是否也習慣依賴EDS解決所有問題？但一遇到輕元素、化學態判讀，資料卻模糊不清、解釋總是卡卡的。其實，這不是儀器不夠力，而是你還沒認識 EELS 這項高解析利器…
當TEM/EDS分析涉及碳、氮、氧等輕元素，若無特殊校正技術，成分分析的準確性將難以保證。本文介紹自我校正技術，透過參考相修正EDS數據，大幅提升氧化物、氮化物等分析的準確度，並以GaN薄膜案例驗證其應用成效…
A14製程即將問世，原子探針斷層掃描器（APT）成為新興的材料分析技術，現已成功應用於多種材料和半導體元件。那麼，APT的原理機制究竟是什麼？而APT針尖型的樣品又該如何製備呢？
一遇到碳、氮、氧等輕元素，TEM/EDS成份分析就失真？原來都是低能量X光吸收效應在搗蛋。了解並克服這一問題，對於提高元件可靠性和成份分析的準確性至關重要。本文將深入探討這一現象，一解TEM/EDS中輕元素分析失真之謎…
在半導體製程接近極限之際，材料分析成為突破瓶頸的關鍵，業界經常使用電子顯微鏡搭配X光能量散佈能譜儀(EDS)解析微奈米材料。但EDS的能量解析度較低，容易造成能峰重疊和偽訊號兩大問題，該如何判讀EDS能譜，才能解析出正確的材料成分分析結果？
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