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無標準片定量法雖簡化流程,但輕元素因吸收效應易產生誤差。本文介紹自我校正技術,透過參考相修正EDS數據,大幅提升氧化物、氮化物等分析的準確度,並以GaN薄膜案例驗證其應用成效。
當TEM/EDS分析涉及碳、氮、氧等輕元素,若無特殊校正技術,成分分析的準確性將難以保證。本文介紹自我校正技術,透過參考相修正EDS數據,大幅提升氧化物、氮化物等分析的準確度,並以GaN薄膜案例驗證其應用成效...
FIB電路修補 1 Line 2 Cut該接哪條、切哪條?IC設計FIB電路修補全攻略
FIB電路修補時切錯點、接錯線,讓你胃食道逆流嗎?本期宜特小學堂,帶您一次掌握FIB(FocusedIonBeam)電路修補全攻略!用最少的成本和時間完成設計驗證,不再掉進無限循環的debug地獄,高效完成設計驗證。
無標準片定量法雖簡化流程,但輕元素因吸收效應易產生誤差。本文介紹自我校正技術,透過參考相修正EDS數據,大幅提升氧化物、氮化物等分析的準確度,並以GaN薄膜案例驗證其應用成效。
A14製程即將問世,原子探針斷層掃描器(APT)成為新興的材料分析技術,現已成功應用於多種材料和半導體元件。那麼,APT的原理機制究竟是什麼?而APT針尖型的樣品又該如何製備呢?
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