
FIB電路修補時切錯點、接錯線,讓你胃食道逆流嗎?本期宜特小學堂,帶您一次掌握FIB(Focused Ion Beam)電路修補全攻略!用最少的成本和時間完成設計驗證,不再掉進無限循環的debug地獄,高效完成設計驗證。

目前積體電路已從10奈米、7奈米不斷微縮至5奈米製程,宜特FIB電路修補實驗室,陸續收到5奈米(nm)製程,必須從晶背進行電路修改樣品。這是從2018年首度完成7奈米(nm)製程的樣品後,再次挑戰更先進製程的5奈米電路修補,並成功的完成挑戰…

隨著摩爾定律當製程來到16奈米(nm)以下的製程,包裝型式多數為覆晶技術(Flip Chip),因此FIB電路修補就必須從晶片背面(晶背Backside)來執行…..

WLCSP IC進行FIB線路修補時將面臨兩大挑戰,一是IC下層的電路,會被上方的錫球與RDL給遮蓋住,二是少數沒有遮蓋到的部分,也會因上方較厚的Organic Passivation…..