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先進製程新材料特性 就靠它來驗
2022-09-13

在半導體製程中,一旦更換了材料,就必須考慮製程設備是否也需改變,設備變更後所生產的樣品是否堪用、品質是否穩定符合原來IC設計的規格,因此在挑選新材料的開發時期以及確認材料變更後的生產驗證,勢必要進行一連串嚴格的材料分析….

如何不破壞樣品,分析晶體結構與薄膜特性?
2018-01-24

透過X光與晶體產生的繞射圖譜並配合資料庫比對,可解析材料的織構、晶體排列的方式,作為評估材料特性的一種非破壞式分析…