從電性量測中發現晶片故障亮點，逐層觀察到底層仍抓不到異常？礙於SEM沒有定量電性量測電流的功能，即使在SEM影像中偵測到異常電壓對比(VC)時，也無法得知異常點是發生在P接面還是N接面？…
從電性量測中發現晶片故障亮點，逐層觀察到底層仍抓不到異常？礙於SEM沒有定量電性量測電流的功能，即使在SEM影像中偵測到異常電壓對比(VC)時，也無法得知異常點是發生在P接面還是N接面？…