首頁 宜特推液態材料缺陷檢測服務

宜特推液態材料缺陷檢測服務

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宜特推液態材料缺陷檢測服務

by yuting

發佈日期:2019/3/5
發佈單位:iST宜特

由於半導體多道製程中,包括晶圓生產-黃光蝕刻、薄膜等製程中,或是其他太陽能、LED晶片等電子產品的製造過程中,都有機會因使用到液體/揮發性材料(例如銀膠、研磨液、拋光液、油墨等)造成缺陷的問題,宜特今日(3/5)宣布,推出液態材料缺陷檢測服務,將有助於相關業者分析液態材質缺陷。

宜特表示,針對一般樣品,宜特會使用掃描式電子顯微鏡SEM(Scanning Electron Microscope)進行樣品表面形貌的檢測。然而樣品必須於真空系統下作業,並且樣品侷限在固體。而對於液態/揮發性材料,由於此類樣品會影響電子顯微鏡的真空度,並可能造成腔體汙染,因此以往若要使用SEM進行檢測,相當困難!

宜特進一步指出,一般而言的變通作法,會將液態/揮發性材料烘烤後,變成固態,再將固態樣品利用SEM進行檢測,然而,往往經過烘烤後的樣品形貌均已失真,例如液態材料內之粒子(Particle)分佈與分散性,這些特性於材料經烘烤後均已改變,便無法觀察到液態材料之真實樣貌。

藉此,宜特特別引進液態材料專用之SEM載台,將可解決此議題。

液態材料SEM
液態材料SEM

圖片說明:液態樣品專用SEM載台示意圖

宜特說明,SEM液態載台是封閉式結構,可以將液態/揮發性材料封閉其中,故可避免影響SEM的真空度與真空系統汙染等問題。SEM電子顯微鏡透過載台表面厚度僅數十奈米之氮化矽SiN薄膜,仍可以激發出液態樣品表面之二次電子或背向電子,藉此可以順利成像。

此外,若搭配另一工具-EDS(Energy Dispersive Spectroscopy),即可進行成份分析,除此之外,SEM影像可透過專用軟體進行分析,即可得到尺寸分佈、分散性、形狀分佈等數據資料(見下圖),以作為材料研發或製程改善、監控的依據。

液態材料SEM

圖片說明:液態研磨材料之SEM影像範例,可清楚觀察SiO2粒子(Particle)分佈與尺寸

液態材料SEM

圖片說明:液態材料銀膠搭配EDS Mapping分析,可確認元素分佈狀況

 

*【重要小提醒】使用這種方式檢測的液態樣品,必須含有粒子(Particle)在裏頭,舉凡裡頭沒有粒子(Particle)的液體,如光阻液,無法用此方法檢測。

關於宜特科技

始創於1994年,iST宜特從 IC 線路除錯及修改起家,逐年拓展新服務,包括故障分析、可靠度驗證、材料分析等,建構完整驗證與分析工程平臺與全方位服務。客群囊括電子產業上游 IC 設計至中下游成品端,並建置車用電子驗證平台、高速傳輸訊號測試。宜特秉持著提供客戶完整解決方案的宗旨,從驗證領域,跨入「晶圓後段製程整合」量產服務。更多訊息請上官網 http://www.istgroup.com

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