宜特推二代MEMS分析，獨家研發「動態檢測異常」

隨MEMS元件已成為智慧產品的主要核心，iST宜特科技MEMS檢測技術再突破！宜特今(11/10)宣佈，繼去年成功建構出MEMS G-Sensor的標準失效分析流程，協助全台約九成開發MEMS的客戶完成檢測，今年宜特更利用獨特動態手法，獨家研發出第二代MEMS異常點檢測，此技術手法不僅領先業界兩個世代，更實際運用在MEMS元件的設計/製造公司，使得宜特MEMS委案量成倍數成長。

宜特觀察發現，許多MEMS開發公司，在產品試產階段，將會做信賴性驗證，確保產品品質。然而，在信賴性驗證過程中，易造成沾黏(Stiction)、訊號移位(Off-set)、結構毀損(Structure damage)等失效狀況。為解決失效狀況，許多MEMS廠商，在藉由製作樣品找異常點時，因不熟悉分析手法，又再一次造成元件污染，導致更難釐清是產品本身問題，還是樣品製備過程出錯。

此外，因元件為懸浮結構，以外力移除時也易產生毀損。兩造影響下，容易造成元件汙染和應力破壞，不但沒有找出真因，反而製造更多失效盲點。

宜特故障分析工程處處長 許如宏表示，宜特無應力/無污染的標準分析技術，不僅協助台灣超過九成的MEMS客戶在設計階段釐清失效因素，更在設計業者投片取得MEMS晶圓後，協助檢測晶圓公司無法載出介層的異常現象。

許如宏進一步指出，今年，宜特再接再厲，開發出領先業界兩個世代以上的「二代MEMS無應力全質量塊移除分析技術」，搭配獨特動態/結構手法，更可精確的在MEMS非破壞的狀態下，取得異常模態資訊，並經由MEMS樣品製備後影像交叉比對，找出失效真因，並對症下藥，快速改善異常現象。

關於宜特科技

始創於1994年，iST從 IC 線路除錯及修改起步，逐年拓展新服務，包括故障分析、可靠度驗證、材料分析與品質保證、訊號測試等，建構完整驗證與分析工程平臺與全方位服務。客戶範圍囊括了電子產業上游 IC 設計至中下游成品端。在國際大廠的外包趨勢下，宜特科技也扮演品牌公司委外製造產品的獨立品質驗證第三公證實驗室，取得 TI、Lenovo、Dell、Cisco、Delphi、Continental Automotive等品牌大廠認證實驗室資格。

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