【論文發表】宜特科技將於IPFA 2018發表新技術

活動日期：2018/7/16-7/19

活動地點：新加坡金沙酒店

iST宜特科技持續加快研發腳步，以滿足客戶在先進制程產品上分析與驗證之需求。今年7月16日到7月19日，宜特材料分析TEM工程博士林敬鈞獲邀至IEEE半導體故障分析領域最高殿堂IPFA(積體電路失效分析論壇)發表最新研究成果。

此技術主要可降低對電子束敏感的材料受到的輻射損傷，例如半導體製程中常用的低介電常數材料(Low-K material)，同時提升TEM影像對比。藉由控制TEM試片厚度可重複此實驗結果。

此成果不但可提升輕元素影像對比，同時也可避免試片受到輻射損害。為半導體大廠以及產品製程中需要TEM檢測，但其材料對電子束敏感的客戶提供最新解決方案。

若您也將出席此盛會，我們誠摯期待與您在現場交流(Poster Session P1.10 , ID:290)。