宜特推液態材料缺陷檢測服務

由於半導體多道製程中，包括晶圓生產-黃光蝕刻、薄膜等製程中，或是其他太陽能、LED晶片等電子產品的製造過程中，都有機會因使用到液體/揮發性材料(例如銀膠、研磨液、拋光液、油墨等)造成缺陷的問題，宜特今日(3/5)宣布，推出液態材料缺陷檢測服務，將有助於相關業者分析液態材質缺陷。

宜特表示，針對一般樣品，宜特會使用掃描式電子顯微鏡SEM(Scanning Electron Microscope)進行樣品表面形貌的檢測。然而樣品必須於真空系統下作業，並且樣品侷限在固體。而對於液態/揮發性材料，由於此類樣品會影響電子顯微鏡的真空度，並可能造成腔體汙染，因此以往若要使用SEM進行檢測，相當困難!

宜特進一步指出，一般而言的變通作法，會將液態/揮發性材料烘烤後，變成固態，再將固態樣品利用SEM進行檢測，然而，往往經過烘烤後的樣品形貌均已失真，例如液態材料內之粒子(Particle)分佈與分散性，這些特性於材料經烘烤後均已改變，便無法觀察到液態材料之真實樣貌。

藉此，宜特特別引進液態材料專用之SEM載台，將可解決此議題。