首頁 最新消息 【論文發表】宜特科技將於IPFA 2018發表新技術

【論文發表】宜特科技將於IPFA 2018發表新技術

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【論文發表】宜特科技將於IPFA 2018發表新技術

by jessica

活動日期:2018/7/16-7/19

活動地點:新加坡金沙酒店

iST宜特科技持續加快研發腳步,以滿足客戶在先進制程產品上分析與驗證之需求。今年7月16日到7月19日,宜特材料分析TEM工程博士林敬鈞獲邀至IEEE半導體故障分析領域最高殿堂IPFA(積體電路失效分析論壇)發表最新研究成果。

此技術主要可降低對電子束敏感的材料受到的輻射損傷,例如半導體製程中常用的低介電常數材料(Low-K material),同時提升TEM影像對比。藉由控制TEM試片厚度可重複此實驗結果。

此成果不但可提升輕元素影像對比,同時也可避免試片受到輻射損害。為半導體大廠以及產品製程中需要TEM檢測,但其材料對電子束敏感的客戶提供最新解決方案。

若您也將出席此盛會,我們誠摯期待與您在現場交流(Poster Session P1.10 , ID:290)。

  • 論文名稱: Cost and Effective Way to Reduce Radiation Damage and Enhance Image Contrast of Beam Sensitive Material in TEM
  • 發表者: 宜特科技TEM工程課課長-林敬鈞博士
  • 發表日期: 2018/7/16
  • 議程: Poster Session
  • 發表時間: 12:10 pm- 2:30 pm
  • 活動地點: 新加坡金沙酒店
  • 活動網址:http://www.ipfa-ieee.org/ipfa-2018-technical-program-16-19-july/