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透射电子显微镜(TEM)
 
性能最强的材料分析、可达0.1奈米影像分辨率设备的TEM,将可针对材料之显微结构、晶体缺陷、化学成分进行分析;搭配上EDS、HAADF(ZC)、应力分析等功能,更能得到原子尺度结构与成份信息,解决制程上各种难题。

iST宜特TEM分析四大优势
     一、领先市场的分析能力:已达5奈米制程节点;
     二、快速交期:三班制24小时运作;
     三、FEI、JEOL等最高阶设备,供您选择(参见下表);
     四、样品制备能量:八台业界最高阶FEI Helios 660 Dual-beam FIB设备,搭配消除试片损伤层(离子束能量可低至100 eV)的技术,将协助您取得最高质量TEM影像。

TEM应用范围:
     显微结构分析(晶格影像)
     结晶缺陷分析
     元素成分分析
     薄膜应力分析
     电子绕射图分析
     杂质及污染源分析

机台型号/规格
 
FEI Talos-F200

影像

 TEM resolution: 0.1nm
 STEM resolution: 0.16nm

EDS

 Detector: SDD 30 mm2 x 4
 Solid angle: 0.95

其他功能

 Piezo stage + DCFI
 4K x 4K CCD


 
JEOL JEM-2800F

影像

 TEM resolution: 0.1nm
 STEM resolution: 0.2nm

EDS

 Detector: SDD 100 mm2 x 2
 Solid angle: 1.7

其他功能

 Strain mapping
 4K x 4K CCD


 
JEOL JEM-2100F

影像

 TEM resolution: 0.1nm
 STEM resolution: 0.2nm


 
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TEM、穿透式电子显微镜、晶格缺陷
中国免费咨询电话 800-988-0501
marketing_cn@istgroup.com
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