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俄歇电子能谱仪(AES)
 

俄歇电子能谱仪(AES)是一种分析材料表面组织形态及化学结构的仪器,可适用于电机、机械、电子、材料、化学、化工等研究领域。

其原理为利用电子束为激发源,当原子的内层电子受激发而脱离原子时,原子的外层电子将很快的迁降至内层电子的空穴并释出能量,而激发另一外层电子使其脱离原子,激发而脱离原子束缚离开试片表面的电子即为俄歇电子(Auger Electron),此电子同样具有代表该原子特性的能量,因此分析俄歇电子亦可得材料成份的信息。

功能介绍
   Survey of the sample surface (样品表面元素分析)
   Auger depth profile (以Ar+(3kV 1uA)蚀刻样品表面,得到元素纵深分析)
   Auger mapping (在选定范围内作元素分布影像图)
   ECSA(XPS) (以X光照射样品表面,侦测其被游离之光电子,判定其材料元素键结分析)

机台规格
   厂牌及型号:英国 VG Scientific Microlab 350
   加速电压:0.5~25kV 
   放大倍率:X200~X500,000(WD 15mm)
   二次电子影像分辨率:7nm(25kV)/35nm(3kV) 
   扫描欧杰电子影像分辨率:12nm(25kV) 
   电子能量分析器:球面扇状分析器(SSA:Spherical Sector Analyzer ) 
   能量分辨率:0.02~2.0% 
   离子源:0.1~5kV, 电流>5μA at 4kV 
   ESCA/XPS X光源:双阳极Mg Kα/Al Kα(面积>5mm) 
   试片最大尺寸:10mm (直径) x 5mm (高度) 
   载台移动范围:X/Y = +/-9mm/+/-6mm. Z=+5/-15mm. 
   Tilt= -20~90°. Rotation= 0~360°.
   E-Beam size:10~20nm
   ESCA/XPS X-ray size:> 5mm

俄歇电子显微镜外观
 
Sample holder
 
 
俄歇电子、欧杰电子、表面分析
中国免费咨询电话 800-988-0501
marketing_cn@istgroup.com
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