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超声波扫描显微镜(SAT)
 

超音波显微镜(SAT)是Scanning Acoustic Tomography 的简称,又称为SAM (Scanning Acoustic Microscope)。此检测为应用超音波于不同密度材料之反射速率及能量不同的特性来进行分析。

原理:
利用纯水当介质传递超音波讯号,当讯号遇到不同材料的接口会时会部分反射及穿透部分穿透,机台接收这些讯号组成影像。

机台外观 / 型号
 
SONIX UHR-2001 机台
SONOSCAN GEN 6
 

检测模式:
A-scan (超音波讯号)
B-scan (二维反射式剖面检测 / 影像)
C-scan (二维反射式平面检测 / 影像)
Through-scan (穿透式检测 / 影像) 

  
应用 / 特色:
一般用于package 内部接口是否有脱层(Delaminaiton) 或裂缝(Crack),SAT原理上可以检测到0.13 μm的微小gap。
IC package level structure analysis
IC package quality on PCBA level
PCB/IC substrate structure analysis
Wafer level structure analysis
WLCSP structure analysis
CMOS structure analysis

不同的样品其适用的检测探头不同,iST拥有目前全台湾最完整的探头组合,从低频15 Mhz至高频230 Mhz及更高阶的UHF超高频探头。

探头应用 :
   15 Mhz – DIP , PLCC , TO, QFP
   35 Mhz – BGA , SOP8 , QFP , SOT223 , TO252 
   50 Mhz – QFN , TQFP, DFN
   75 Mhz – TSSOP , Flash
   110 Mhz –Wafer , Flip chip
   230 Mhz –WLCSP , 3DIC
   UHF – CMOS , WLCSP

*以上探头应用皆为参考,还需依实际样品状况选择适当探头。

 

BGA 封装 Substrate 脱层
 
TSOP 封装 Die & Paddle & Lead 脱层
 
QFN 封装 Die & Paddle & Lead 脱层
 
C-Scan Through-scan
其它样品SAT检测分析
 
 
SAT、超音波、脱层
中国免费咨询电话 800-988-0501
marketing_cn@istgroup.com
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